特許
J-GLOBAL ID：200903071034795410
基板搬送装置及び基板搬送方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-196501
公開番号（公開出願番号）：特開平8-064654
出願日： 1994年08月22日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：
【要約】【目的】 位置合わせ専用の装置を必要としない省スペースで簡易な基板搬送装置を提供すること。【構成】 ハンド102は、オリフラ11aを有するウェハ11を支持可能になっている。アーム92は、ハンド102を移動させてカセット13に置かれたウェハ11にアクセスさせる。ハンド102のヘッド132には、エッジセンサ132a〜132cが、ウェハ11にアクセスするハンド102の前進方向に垂直でかつウェハ11の表面に平行な方向に関してオリフラ11aの実行幅よりも広い間隔でもって固設されている。制御装置は、エッジセンサ132a〜132cの各出力とハンド102の位置情報とに基づいてウェハ11の3つのエッジ位置を決定し、決定された3つのエッジ位置の少なくとも2つを円周上の点と仮定した場合のこの円周の中心点としてウェハ11の中心位置111cを算出し、この中心位置111cに基づいてハンド102を移動させる。
請求項（抜粋）：
切欠を有する円形基板を支持可能な支持手段と、前記支持手段を移動させて受け渡し位置に置かれた前記円形基板にアクセスさせる移動手段と、前記円形基板にアクセスする前記支持手段の前進方向に垂直でかつ前記円形基板の表面に平行な横方向に関して前記切欠の実効幅よりも広い間隔でもって前記支持手段側に固設された3個のエッジセンサと、前記3個のエッジセンサの各出力と前記支持手段の位置情報とに基づいて円形基板の3つのエッジ位置を決定し、決定された前記3つのエッジ位置の少なくとも2つを円周上の点と仮定した場合のこの円周の中心点として前記円形基板の中心位置を幾何学的座標計算によって算出し、算出された前記円形基板の中心位置に基づいて前記支持手段を移動させる制御手段と、を備える基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, G01B 11/00
