光制御デバイスおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-238345
公開番号（公開出願番号）：特開2000-066157
出願日： 1998年08月25日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】無バイアス温度動作点シフト特性を改善するために、強誘電体基板を用いた光制御デバイスおよびその製造方法を提供することにある。【解決手段】無バイアス温度動作点シフトに対する等価回路を解析し、デバイスの構成要素の最適化を行った。構成要素の一つである低抵抗膜の抵抗を低く制御することで、温度変化によって基板表面に発生する電荷を短時間に均一化し、動作点の変動を抑圧した。

請求項（抜粋）：

電気光学効果を有する結晶基板に形成された2本の近接した光導波路と導波路の一部に基板より低誘電率のバッファ層が形成され、バッファ層と基板の一部にこれら2層より低抵抗膜が形成されている光回路と前記2本の各光導波路の近傍に形成されたマイクロ波が伝搬する信号電極とそれを挟む2つのアース電極を有し、前記低抵抗膜が前記光導波路近傍で複数箇所絶縁されている光制御デバイスにおいて、温度安定性を向上させるために前記低抵抗膜の抵抗値を低く制御したことを特徴とする光制御デバイス。

Fターム (13件)：

2H079AA02 , 2H079AA12 , 2H079BA03 , 2H079CA05 , 2H079CA06 , 2H079CA07 , 2H079DA03 , 2H079DA22 , 2H079DA26 , 2H079EA03 , 2H079EA04 , 2H079EB05 , 2H079HA23

引用特許：

審査官引用 (4件)

光導波路デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-042521 出願人：京セラ株式会社
特開平3-253815
光電界センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-167679 出願人：株式会社トーキン

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