特許
J-GLOBAL ID：200903071049015739
分光器の波長校正方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-050676
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260570
出願日： 1994年03月22日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】【目的】 分光器の構成部品に不規則な波長設定誤差を誘引する欠陥があっても、検出波長を高精度に設定できる分光器の波長校正方法を実現する。【構成】 分光器の使用波長範囲[λ0、λN+1]が複数の区間に分割され、分割された区間に対応する複数のN本の基準波長が設定される。分光器の実波長がこれら複数の基準波長にある時の波長指示値と実波長値との間の波長誤差が計測される。得られた複数の波長誤差から、各区間毎に3次のスプライン関数として波長誤差関数が求められ、[λ0、λ1]、[λ1、λ2]、・・・[λN、λN+1]のN+1個の複数の区間毎に、最適な誤差関数ψi(λ)が得られる。各区間毎に設定された最適な誤差関数を用いて検出波長の設定が行われる。これにより、構成部品に不規則な波長設定誤差を誘引する欠陥があっても、検出波長を高精度に設定できる分光器の波長校正方法が実現される。
請求項（抜粋）：
検出する光の波長に対応した位置に、回折格子を移動させ、上記波長の光を検出する分光器の波長校正方法において、検出する光の波長範囲を複数の区間に分割し、上記複数の区間のそれぞれについて、検出すべき波長の指示値と、実際に検出された波長との誤差を示す波長誤差関数を算出し、各区間毎に算出された波長誤差関数に基づいて、検出すべき波長の指示値を校正することを特徴とする分光器の波長校正方法。
IPC (3件)：
G01J 3/02
, G01J 9/00
, G01N 21/73
