特許

J-GLOBAL ID：200903071075494165

基板洗浄用ブラシの保管方法

発明者： 野々村 正浩 ,  森田 彰彦 ,  小野寺 直子 ,  三重野 文健
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 間宮 武雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-282555
公開番号（公開出願番号）：特開平9-094543
出願日： 1995年10月02日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】 ブラシ本体が親水性を有するスポンジ状の多孔質素材からなる洗浄用ブラシを使用する場合に、ブラシ本体を直ちに使用可能な状態で保管して、ライン稼動への立上げ時間の短縮化を図り、保管や輸送中におけるブラシ本体へのパーティクルの付着やブラシ本体からのダストの発生を防止し、ブラシ本体の変形を防止できる方法を提供する。【解決手段】 収納容器38内に液体を収容し、その液体中にブラシ本体16を浸漬させ、基板洗浄用ブラシ10を保管する。

請求項（抜粋）：

ブラシ本体が親水性を有するスポンジ状の多孔質素材によって形成された基板洗浄用ブラシを保管する方法において、容器内に液体を収容し、その液体中に前記ブラシ本体を浸漬させることを特徴とする基板洗浄用ブラシの保管方法。

IPC (2件)：

B08B 1/00 ,  H01L 21/304 341

FI (2件)：

B08B 1/00 ,  H01L 21/304 341 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板洗浄用ブラシの収納容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-237727   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• スクラバーブラシの保管方法と保管容器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-190455   出願人：富士通株式会社