SPMカンチレバー

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：最上健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-163781
公開番号（公開出願番号）：特開2002-357529
出願日： 2001年05月31日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】測定状態あるいは試料形状に合わせて常に高分解能で表面状態を測定可能なSPMカンチレバーを提供する。【解決手段】単結晶シリコンウエハを加工して作製した支持部1と、単結晶シリコンにより厚さを制御して形成された支持部から伸びたレバー部2と、探針軸5がレバー部に対して垂直になるようにレバー部の自由端側に配設された単結晶シリコン製の探針部3とからなるカンチレバーを用意し、探針部のレバー部自由端側の側面の膜厚が厚くなるように、表面全面にシリコン窒化膜6を形成し、これにより探針部先端部7が探針軸5に対して一定の角度θだけ自由端側に傾けた形状のSPMカンチレバーを構成する。

請求項（抜粋）：

支持部と、該支持部から伸びるレバー部と、該レバー部の自由端近傍に形成される探針部とからなるSPMカンチレバーにおいて、前記探針部の先端部が探針軸から一定の角度傾けて構成されていることを特徴とするSPMカンチレバー。

IPC (3件)：

G01N 13/16 , G01N 13/12 , G12B 21/02

FI (3件)：

G01N 13/16 C , G01N 13/12 D , G12B 1/00 601 A

引用特許：

出願人引用 (7件)

AFMカンチレバー及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-288136 出願人：オリンパス光学工業株式会社
カンチレバー及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-055200 出願人：株式会社ニコン
磁気プローブ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-334106 出願人：住友金属工業株式会社

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審査官引用 (7件)

AFMカンチレバー及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-288136 出願人：オリンパス光学工業株式会社
カンチレバー及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-055200 出願人：株式会社ニコン
磁気プローブ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-334106 出願人：住友金属工業株式会社

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