特許
J-GLOBAL ID:200903071119241413

単結晶引上げ用金属線ロープ,単結晶引上げ用端子付金属線ロープ,及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 後藤 洋介 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-020437
公開番号(公開出願番号):特開平9-328390
出願日: 1997年02月03日
公開日(公表日): 1997年12月22日
要約:
【要約】【課題】 単結晶引上げ装置の吊り下げ用丸棒のかわりに単結晶引上の際の吊し治具のゆれを防止し単結晶インゴットの歩留りを向上できる単結晶引上げ用金属線ロープ及び単結晶引上げ用端子付金属線ロープを提供すること。【解決手段】 単結晶引上げ用金属線ロープは複数の耐熱素線10に撚りを加え形成した金属線ロープであって,耐熱素線10の夫々はW,Mo及びそれらの合金のうちのいずれかである。また,金属線ロープは,一次撚り線11を3本以上備えている。金属線ロープの900°Cでの伸びは5%以下である。また,単結晶引上げ用端子付金属線ロープは耐熱材料からなる単結晶引上げ用金属線ロープの一端に,この一端を挟み込む一対の圧接部を備えた耐熱鋼の端子を備える。圧接部の外側には,V字又はU字の溝を備え,内側にはこの溝に対応する凸部を備える。凸部はこの溝の加圧成形時に形成される。
請求項(抜粋):
耐熱材料からなる単結晶引上げ用金属線ロープの一端に耐熱鋼からなる端子を備えた単結晶引上げ用端子付金属線ロープであって,前記端子は,前記一端を挟み込む一対の圧接部を備え,前記圧接部の外側には,少なくとも3個のV又はU字溝を備え,前記圧接部の内側には,前記V又はU字溝に対応する凸部を備え,前記凸部は,前記V又はU字溝の加圧形成時に形成されていることを特徴とする単結晶引上げ用端子付金属線ロープ。
IPC (5件):
C30B 15/30 ,  C22C 27/04 ,  C30B 29/06 502 ,  D07B 1/06 ,  H01L 21/208
FI (5件):
C30B 15/30 ,  C22C 27/04 ,  C30B 29/06 502 F ,  D07B 1/06 Z ,  H01L 21/208 P
引用特許:
審査官引用 (3件)

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