特許
J-GLOBAL ID:200903071144458656
アレイ屈折素子、アレイ回折素子及び露光装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-164800
公開番号(公開出願番号):特開2004-086168
出願日: 2003年06月10日
公開日(公表日): 2004年03月18日
要約:
【課題】露光記録装置における記録画像の画質を低コストで向上させることができるアレイ屈折素子、アレイ回折素子及び露光装置を得る。【解決手段】複数の半導体レーザLDから射出されたレーザビームLの光路上で、かつファイバーアレイ部30のレーザビームLの出射口と、記録フィルムFとの間に、各々入射されたレーザビームLを互いに異なる位置に向けて出射することにより当該レーザビームLを2つに分割する単位表面形状を有する2つの屈折部材を、レーザビームLの分割方向(副走査方向)と直交する方向に対単位でアレイ状に並べた形状となるように構成したアレイ屈折素子36を配置する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
各々入射された1本の光ビームを互いに異なる位置に向けて出射することにより当該1本の光ビームを2つに分割する単位表面形状を有する2つの屈折部材を、前記光ビームの分割方向と直交する方向に対単位でアレイ状に並べた形状となるように構成した
アレイ屈折素子。
IPC (4件):
G02B26/10
, B41J2/44
, G02B27/10
, H04N1/036
FI (4件):
G02B26/10 G
, G02B27/10
, H04N1/036 Z
, B41J3/00 D
Fターム (22件):
2C362AA03
, 2C362BA58
, 2C362BA71
, 2C362BA85
, 2C362CB06
, 2C362CB08
, 2C362CB14
, 2C362CB71
, 2H045AG09
, 2H045BA26
, 2H045BA33
, 2H045DA24
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DA02
, 5C051DB02
, 5C051DB22
, 5C051DB25
, 5C051DB30
, 5C051DC04
, 5C051DC07
, 5C051FA04
引用特許:
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