特許

J-GLOBAL ID：200903071145103541

元素分析装置および元素分析方法

発明者： 桑子 彰 ,  加藤 昌代 ,  大谷 良一
出願人/特許権者： 株式会社東芝 ,  東芝電子管デバイス株式会社
代理人 (2件)： 菊池 治 ,  大胡 典夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-100267
公開番号（公開出願番号）：特開2008-256585
出願日： 2007年04月06日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：

【課題】レーザ誘起ブレイクダウン分光法による元素分析の分析精度を高める。【解決手段】試料6に含有される元素の濃度を分析する元素分析装置は、試料6に照射されるとプラズマ7を発生させるパルスレーザー光3を生成するレーザー発振器1と、プラズマ7から発生する蛍光8のうち試料6の表面から所定の長さ離れた計測領域から放出される蛍光8を通過させ、計測領域以外から放出される蛍光8を遮るスリット9と、パルスレーザー光3が試料6に照射されてから所定の時間が経過した後の所定の計測期間にスリット9を通過した蛍光8の波長ごとの強度を測定する分光器11と、を備える。計測領域および計測期間は、パルスレーザー光3が試料6に照射されて発生するプラズマ7から放出される蛍光の波長ごとの強度の試料6の表面からの距離に対する変化およびパルスレーザー光3の照射後の経過時間に対する変化に基づいて決定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に含有される元素の濃度を分析する元素分析装置において、 前記試料に照射されるとプラズマを発生させるパルスレーザー光を生成するレーザー発振手段と、 前記プラズマから発生する蛍光のうち前記試料の表面から所定の長さ離れた計測領域から放出される蛍光を通過させ、前記計測領域以外から放出される蛍光を遮る遮光手段と、 前記パルスレーザー光が前記試料に照射されてから所定の時間が経過した後の所定の計測期間に前記遮光手段を通過した前記蛍光の波長ごとの強度を測定する分光測定手段と、 を有することを特徴とする元素分析装置。

IPC (2件)：

G01N 21/63 ,  G01N 21/64

FI (2件)：

G01N21/63 A ,  G01N21/64 B

Fターム (28件)：

2G043AA01 ,  2G043BA01 ,  2G043BA02 ,  2G043CA01 ,  2G043CA02 ,  2G043CA05 ,  2G043CA07 ,  2G043EA01 ,  2G043FA03 ,  2G043FA06 ,  2G043GA04 ,  2G043GB01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA02 ,  2G043HA03 ,  2G043HA05 ,  2G043HA15 ,  2G043JA01 ,  2G043KA01 ,  2G043KA02 ,  2G043KA05 ,  2G043KA08 ,  2G043KA09 ,  2G043LA01 ,  2G043MA01 ,  2G043MA06 ,  2G043MA16 ,  2G043NA04

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 元素分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-119326   出願人：株式会社東芝
• 元素分析方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-372268   出願人：株式会社東芝