走査型プローブ顕微鏡とその測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-226308
公開番号（公開出願番号）：特開2001-099773
出願日： 2000年07月27日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】広い領域や高アスペクト比の対象の高分解能の測定について、測定時間を短縮し、探針摩耗を低減し、探針摩耗に起因する測定精度の低下を防止する走査型プローブ顕微鏡とその測定方法を提供する。【解決手段】試料13に臨む探針14、探針の高さ方向の変位を検出する変位検出機構22,23、例えば広域走査を行うXYスキャナ12、探針を高さ方向に変位する単体の圧電素子16、各サンプリング位置で探針を試料表面に接近・退避させる電圧信号を出力する接近・退避信号供給器35、変位検出機構の検出信号に基づき試料・探針間を基準距離に保持するサーボ制御装置30を備え、各サンプリング位置で探針・試料間を基準距離に保持しながら表面を探針で走査し、試料表面の凹凸形状等を測定する。このとき、サーボ制御ループにおいて基準距離を決める信号s0に接近・退避用信号s01が重畳され、サーボ制御が継続される。

請求項（抜粋）：

試料の表面に臨む探針と、前記試料の表面に対する前記探針の高さ方向の変位を検出する変位検出機構と、この変位検出機構が出力する検出信号に基づいて前記試料と前記探針の間の距離が基準距離に保持されるように制御する制御手段とを備え、複数のサンプリング位置の各々で前記探針と前記試料の間を前記基準距離に保持しながら前記表面を前記探針で走査して前記表面を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記サンプリング位置で前記試料の表面に対して前記探針の接近・退避を行う接近・退避駆動装置を設け、前記制御手段によるサーボ制御系に基づき前記試料と前記探針の間の距離に関する制御を継続したまま、前記複数のサンプリング位置の各々で前記接近・退避駆動装置によって前記探針の接近・退避を行い、前記サンプリング位置でデータを取得することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 13/10 , G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 13/10 B , G01B 21/30

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平4-359104
特開平2-262001
特開平2-093304

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