特許
J-GLOBAL ID：200903071181491663
測定装置及び測定方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
中島 淳
, 加藤 和詳
, 西元 勝一
, 福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-269912
公開番号（公開出願番号）：特開2008-089389
出願日： 2006年09月29日
公開日（公表日）： 2008年04月17日
要約：
【課題】測定装置の測定精度の低下を抑制する。【解決手段】相違量算出部84により、バッファー液を供給した状態での分布情報により示される光強度分布と試料を供給した状態での分布情報により示される光強度分布との間の対応する反射角度同士の差分値を表わす曲線と、当該差分値の零に対応する直線とにより囲まれた領域の面積を算出し、変化データ導出部88により、算出した面積に対応する角度差を関係情報記憶部86に記憶された関係情報から暗線が発生している反射角度の角度差を求めることにより導出する。【選択図】図15
請求項（抜粋）：
P偏光光ビームに対して透過性を有し、一部に薄膜層が形成され、当該薄膜層上に試料が接触される光透過性部材と、
前記薄膜層上に測定の基準となる基準試料と測定対象とする対象試料を接触させた状態で、前記光透過性部材と前記薄膜層との界面において全反射されるように複数の角度で前記光透過性部材に入射されて当該界面において全反射されたP偏光光ビームの反射角度毎の光強度分布を示す分布情報を前記基準試料及び前記対象試料について取得する取得手段と、
前記薄膜層上に前記基準試料を接触させた状態で前記取得手段により取得された分布情報である第1分布情報により示される光強度分布と前記薄膜層上に前記対象試料を接触させた状態で前記取得手段により取得された分布情報である第2分布情報により示される光強度分布との相違量を算出する算出手段と、
前記算出手段により算出された前記相違量に基づき、前記第1分布情報により示される光強度分布に全反射減衰が発生した反射角度と前記第2分布情報により示される光強度分布に全反射減衰が発生した反射角度との角度差を導出する導出手段と、
を備えた測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2G059AA01
, 2G059BB12
, 2G059CC16
, 2G059DD12
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE05
, 2G059FF08
, 2G059JJ12
, 2G059JJ19
, 2G059KK04
