レーザー干渉距離測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-243453
公開番号（公開出願番号）：特開平8-082509
出願日： 1994年09月13日
公開日（公表日）： 1996年03月26日
要約：

【要約】【目的】測定光路上の不規則な気流等に基づく計測誤差を低減し、高スループット化、高集積化を実現するレーザ干渉距離測定装置を得る。【構成】レーザー干渉距離測定装置の測定光路における気体を予め定められた一定方向の層流として流す整流構造体を備えたもの。

請求項（抜粋）：

気体中を通過する測定光路に沿ってレーザービームを照射して対象物までの距離を測定するレーザー干渉距離測定装置において、前記気体を前記測定光路に対して予め定められた一定方向の層流として流す整流構造体を備えていることを特徴とするレーザー干渉距離測定装置。

引用特許：

出願人引用 (3件)

審査官引用 (2件)

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