特許

J-GLOBAL ID：200903071197224266

磁気デバイス

発明者： 市原 勝太郎 ,  大久保 通子
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-283068
公開番号（公開出願番号）：特開平8-148334
出願日： 1994年11月17日
公開日（公表日）： 1996年06月07日
要約：

【要約】【目的】 信頼性に優れているとともに、高精度な加工が容易な磁性薄膜パターンを有する磁気デバイスを提供する。【構成】 Fe、Co、Niから選択される少なくとも1種の元素を含有する磁性薄膜(3)のパターンと、磁性薄膜(3)のパターンの側壁上に直接被着された第1の被着膜(4)と、第1の被着膜(4)の外側に被着された、第1の被着膜(4)と材質または構造が異なる第2の被着膜(5)とを有する。

請求項（抜粋）：

Fe、Co、Niから選択される少なくとも1種の元素を含有する磁性薄膜のパターンと、前記磁性薄膜のパターンの側壁上に直接被着された第1の被着膜と、前記第1の被着膜の外側に被着された第2の被着膜とを具備したことを特徴とする磁気デバイス。

IPC (4件)：

H01F 10/00 ,  G01R 33/09 ,  G11B 5/31 ,  H01L 43/08

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-165406
  
• 特開平3-232109
  
• 特開昭54-104812
  
• 微細導電パターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-332510   出願人：ミツミ電機株式会社

審査官引用 (5件)

• 特開昭54-104812
  
• 特開平2-165406
  
• 微細導電パターンの形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-332510   出願人：ミツミ電機株式会社
• 特開平3-232109
  
• 特開昭54-104812