特許

J-GLOBAL ID：200903071234375709

同時放電化装置

発明者： 大淵 一人
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-118681
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306694
出願日： 1996年05月14日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】 1個の高周波電源で同時に2個のチャンバー内を放電させると、インピーダンスの低い方へ電流が流れ易いため、レートの偏りが大きくなる。【解決手段】 1個の高周波電源Pで2個のチャンバー4,14を同時に放電させる同時放電化装置において、2個のチャンバー4,14に電力分割手段20を介して高周波電源Pを接続し、電力分割手段20は、2個のチャンバー4,14の対応する電極同士を接続する電極側導体板21と、高周波電源PのRfケーブル22の端部に接続する電源側導体板23と、電極側導体板21と電源側導体板23を任意の位置で電気的に接続する導体バー24から構成した。

請求項（抜粋）：

1個の高周波電源で2個のチャンバー内を同時に放電させる同時放電化装置において、前記2個のチャンバーに電力分割手段を介して前記高周波電源を接続したことを特徴とする同時放電化装置。

IPC (3件)：

H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

H05H 1/46 A ,  C23F 4/00 A ,  H01L 21/302 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 高周波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-008951   出願人：日本電子株式会社
• プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-232705   出願人：東京エレクトロン株式会社