特許

J-GLOBAL ID：200903071236359565

吸着固定装置

発明者： 河村 和典 ,  橘 俊光 ,  長井 陽三 ,  森山 順一
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 清原 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-193992
公開番号（公開出願番号）：特開平8-323571
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月10日
要約：

【要約】【目的】 吸着固定性能が高く、しかも被吸着体を傷つけたりせず、かつ被吸着物に埃等をつけない吸着固定装置を提供する。【構成】 負圧を作用力として精密加工品を固定又は搬送に供する吸着固定装置において、被吸着体との接触部材を多孔質体としたことを特徴とする吸着固定装置である。

請求項（抜粋）：

負圧を作用力として精密加工品を固定又は搬送に供する吸着固定装置において、被吸着体との接触部材を多孔質体としたことを特徴とする吸着固定装置。

IPC (5件)：

B23Q 3/08 ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68

FI (6件)：

B23Q 3/08 A ,  G02B 5/30 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 P

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 真空チヤック装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-103323   出願人：ソニー株式会社
• 特開昭60-132744
  
• 特開平4-035827