特許

J-GLOBAL ID：200903071249677981

耐食性部材

発明者： 伊東 裕見子 ,  松之迫 等
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-121341
公開番号（公開出願番号）：特開2000-313658
出願日： 1999年04月28日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】耐食性の低下をもたらすチタニアの析出を抑制し、結晶粒子自体の耐食性が向上し、希土類化合物が粒界に析出することによりエッチングされやすい粒界を強化し、脱粒によるパーティクル発生を防止する。【解決手段】ハロゲン系の腐食ガス或いはプラズマに曝される部位が、ATiO3 型結晶(AはMg、Ca、Sr、Ba等アルカリ土類金属の群から選ばれる少なくとも1種の元素)を主体とし、前記金属原子Aと前記Ti原子のA/Tiで表される比率が、1.005〜1.998、相対密度が98%以上のチタン酸塩焼結体から形成される。

請求項（抜粋）：

ハロゲン系腐食性ガス或いはプラズマに曝される部位が、ATiO3 型結晶(AはMg、Ca、Sr、Ba等アルカリ土類金属の群から選ばれる少なくとも1種の元素)を主体とし、前記金属原子Aと前記Ti原子のA/Tiで表される比率が、1.005〜1.998、相対密度が98%以上、Al、Siの酸化物換算量が合計で0.5重量%以下のチタン酸塩焼結体から形成されていることを特徴とする耐食性部材。

IPC (2件)：

C04B 35/46 ,  C23C 16/44

FI (2件)：

C04B 35/46 Z ,  C23C 16/44 B

Fターム (11件)：

4G031AA03 ,  4G031AA04 ,  4G031AA05 ,  4G031AA06 ,  4G031AA07 ,  4G031AA11 ,  4G031BA18 ,  4G031BA26 ,  4K030FA01 ,  4K030GA02 ,  4K030KA46

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 静電チャック
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-086386   出願人：京セラ株式会社