特許
J-GLOBAL ID：200903017867736099

静電チャック

発明者：
会田 比呂史

会田 比呂史 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-086386
公開番号（公開出願番号）：特開平11-284058
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：
【要約】【課題】簡易な構造を有しながらも、0〜100°Cの温度範囲で優れた吸着特性を有する静電チャックを提供する。【解決手段】静電吸着面5が、Ba、SrおよびTiを含有するペロブスカイト型結晶相を主体とするセラミックスからなり、セラミックス中におけるSr/(Ba+Sr)原子比が0.3〜0.8であり、且つ0〜100°Cの体積固有抵抗が107 〜1012Ω・cmであり、さらには、セラミックス中に、周期律表第3a族元素あるいはAlを酸化物換算で10重量%以下の割合で含有するセラミックスによって構成することにより、0〜100°C、特に-50〜150°Cの幅広い温度範囲で優れた吸着特性を有する静電チャックを得る。
請求項（抜粋）：
静電吸着面が、Ba、SrおよびTiを含有するペロブスカイト型結晶相を主体とするセラミックスからなり、該セラミックス中におけるSr/(Ba+Sr)原子比が0.3〜0.8であり、且つ0〜100°Cの体積固有抵抗が107 〜1012Ω・cmであることを特徴とする静電チャック。
IPC (4件)：
H01L 21/68 ,  B23Q 3/15 ,  C04B 35/46 ,  H02N 13/00
FI (4件)：
H01L 21/68 R ,  B23Q 3/15 D ,  H02N 13/00 D ,  C04B 35/46 C
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (7件)
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