特許
J-GLOBAL ID：200903071257730891
半導体ウエハ搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
机 昌彦
, 谷澤 靖久
, 河合 信明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-194390
公開番号（公開出願番号）：特開2004-039841
出願日： 2002年07月03日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】キャリアからウエハを取り出す際に前もってアームの変形を検出し、アームの変形によるウエハ搬送トラブルやウエハへの傷を未然に防止する。【解決手段】アームを上下方向に移動させるためのボールネジに同期するロータリエンコーダと、正常なアームをキャリアに挿入する際のアームの高さ位置を原点位置17とし、この原点位置17からアームを下降させてアームが検出点位置18に達したことを検知する反射型光電センサ6とを備え、アームに変形がある場合、変形アーム2aが下降を始めると同時にロータリエンコーダもパルス出力を開始し、反射型光電センサ6からの検知信号を受けた時点でのロータリエンコーダのパルス数(900又は1100パルス)をカウントし、このパルス数を正常なアームのパルス数(1000パルス)と比較してアームの変形の有無を検出する。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
複数枚の半導体ウエハを等ピッチ間隔で水平に収納したキャリアの前記半導体ウエハ間にアームを挿入し、キャリアから半導体ウエハを1枚ずつアームに乗せて取り出し次工程に搬送する半導体ウエハ搬送装置において、前進後退、上昇下降、回転可能なアームを有する搬送ロボットと、アームを上下方向に移動させるためのボールネジに同期するロータリエンコーダと、正常なアームをキャリアに挿入する際のアームの高さ位置を原点位置とし、この原点位置からアームを下降させてアームが検出点位置に達したことを検知する反射型光電センサとを備え、アームが下降を始めると同時にロータリエンコーダもパルス出力を開始し、反射型光電センサからの検知信号を受けた時点でのロータリエンコーダのパルス数をカウントし、このパルス数を正常なアームのパルス数と比較してアームの変形の有無を検出することを特徴とする半導体ウエハ搬送装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (13件)：
5F031CA02
, 5F031DA01
, 5F031FA01
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031GA47
, 5F031GA49
, 5F031JA01
, 5F031JA06
, 5F031JA21
, 5F031JA45
, 5F031LA09
, 5F031LA12
