インクジェットヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青山葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-031841
公開番号（公開出願番号）：特開平10-226068
出願日： 1997年02月17日
公開日（公表日）： 1998年08月25日
要約：

【要約】【課題】機械加工によらずにインクジェットヘッド用圧電アクチュエータを形成する。【解決手段】スパッタ法、気相成長法、蒸着法、イオンプレーティング法などの真空薄膜作製法やゾルーゲル法により基板12上にパターン形成した圧電薄膜をインクを押圧するためのアクチュエータ部材14とした。

請求項（抜粋）：