特許

J-GLOBAL ID：200903071300903428

研磨剤組成物

発明者： 岡島 泰三 ,  森永 均 ,  牛木 豊廣 ,  伊藤 敏男 ,  小島 純夫
出願人/特許権者： 三菱化成株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-097217
公開番号（公開出願番号）：特開平5-271647
出願日： 1992年03月24日
公開日（公表日）： 1993年10月19日
要約：

【要約】【構成】 1次粒子の形状が角状で、平均1次粒子径が2μm以下で、しかもα相含有率が10〜80%であるアルミナを砥粒成分として含有してなる研磨剤組成物。【効果】 本発明の研磨剤組成物によれば、極めて高い研磨速度と良好な表面状態が得られ、研磨加工能率が良好である。

請求項（抜粋）：

1次粒子の形状が角状で、平均1次粒子径が2μm以下で、しかも、α相含有率が10〜80%であるアルミナを砥粒成分として含有してなる研磨剤組成物。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-277683
  
• 特開平3-234785