特許

J-GLOBAL ID：200903071302066744

感光性ペースト

発明者： 堀内 健 ,  正木 孝樹 ,  守屋 豪
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-216509
公開番号（公開出願番号）：特開平11-065102
出願日： 1997年08月11日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】プロキシミティー露光を行って、高アスペクト比かつ高精細なパターンの加工を可能にする条件を備えた感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性有機成分とを必須成分とする感光性ペーストにおいて、感光性有機成分中の増感剤量を光重合開始剤より多く配合する。

請求項（抜粋）：

無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、感光性有機成分中の増感剤が光重合開始剤より多く配合されていることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (11件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 505 ,  C08F 2/50 ,  C09D 5/00 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/227 ,  C08F 20/10 ,  C08F290/12 ,  C09D 4/02

FI (11件)：

G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 503 Z ,  G03F 7/004 505 ,  C08F 2/50 ,  C09D 5/00 C ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 9/227 E ,  C08F 20/10 ,  C08F290/12 ,  C09D 4/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 感光性ペースト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-321794   出願人：東レ株式会社
• 光重合性導電ペースト組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-131174   出願人：旭化成工業株式会社