スリット像検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-218685
公開番号（公開出願番号）：特開2001-041821
出願日： 1999年08月02日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】スリット像の検出精度を向上可能なスリット像検出装置を提供する。【解決手段】このスリット像検出装置は、第1スリット板2cを通過したスリット像を試料S上に投影するスリット像投影光学系2を備えている。対物レンズ2f後側焦点位置にはテレセントリック系を構成するようにガルバノミラー3aが配置されており、さらに、この焦点位置からみて第1スリット2cと共役な位置には第2スリット板2hが配置されている。したがって、これらは共焦点光学系を構成している。

請求項（抜粋）：

第1スリットを通過したスリット像を試料上に投影するスリット像投影光学系と、前記スリット像投影光学系の対物レンズ後側焦点位置に配置されたガルバノミラーと、前記焦点位置からみて前記第1スリットと共役な位置に配置された第2スリットと、前記第2スリットを通過したスリット像を検出する撮像装置とを備えることを特徴とするスリット像検出装置。

IPC (3件)：

G01J 3/04 , G01J 3/30 , G01N 21/27

FI (3件)：

G01J 3/04 , G01J 3/30 , G01N 21/27 B

Fターム (16件)：

2G020CA01 , 2G020CB54 , 2G020CC04 , 2G020CC09 , 2G020CC43 , 2G020CC55 , 2G020CD04 , 2G020CD22 , 2G020CD52 , 2G059BB12 , 2G059BB16 , 2G059EE07 , 2G059FF01 , 2G059JJ05 , 2G059JJ11 , 2G059KK04

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭63-306413
特開平2-226027
特開昭59-145930

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