特許
J-GLOBAL ID：200903071396455129
炭素繊維強化炭素複合材及び単結晶引き上げ装置用部材
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-154711
公開番号（公開出願番号）：特開2000-095567
出願日： 1999年06月02日
公開日（公表日）： 2000年04月04日
要約：
【要約】【課題】 熱分解炭素をCVI 、CVD を連続的に行いC/C 材に含浸、被覆し、優れた耐SiC 化を発揮できるC/C 材、及びそれにより形成された単結晶引き上げ装置用部材を提供する。【解決手段】 C/C基材内部に予め、ピッチ又は樹脂を含浸し、緻密化した後、CVI、CVD処理を同一炉、同一工程で連続的に行うことにより、熱分解炭素の含浸層及び被覆層の密度差を制御し、両層を連続的に形成することにより耐SiC化を確実にする。
請求項（抜粋）：
ピッチ又は及び樹脂の含浸により緻密化した後、CVI により熱分解炭素の含浸層を形成し、更に前記含浸層の上にCVD により熱分解炭素の被覆層を形成してなる炭素繊維強化炭素複合材。
IPC (4件)：
C04B 35/52
, C04B 35/83
, C04B 41/87
, C30B 15/10
C04B 35/52 G
, C04B 41/87 H
, C04B 41/87 T
, C04B 41/87 G
, C30B 15/10
, C04B 35/52 E
