X線検査方法およびその装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：橘哲男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-050190
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249532
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】従来のX線検査方法におけるエネルギーサブトラクション処理により得られた半田のみの画像の濃度値には物理的意味が無く,絶対的な厚みを表わしていない。また、厚みが分からないため、正確な体積を算出することもできないという問題があり、また、X線管および撮像部の経年変化により、前記画像の濃度値には相当量のばらつきが生じるといった問題があった。【解決手段】波長分布の異なる2種類のX線を被検査対象に照射して2枚のX線画像を撮像し、前記2枚のX線画像の差分演算により前記X線画像から前記被検査対象に含まれる特定物質を抽出し、前記差分演算した値と、厚みが既知である前記特定物質と同じ材料の標準試料を撮像して差分演算した値とを比較することにより,特定物質の厚みを測定することを特徴とするX線検査方法である。

請求項（抜粋）：

波長分布の異なる2種類のX線を被検査対象に照射して2枚のX線画像を撮像し、前記2枚のX線画像の差分演算により前記X線画像から前記被検査対象に含まれる特定物質を抽出し、前記差分演算した値と、厚みが既知である前記特定物質と同じ材料の標準試料を撮像して差分演算した値とを比較することにより,特定物質の厚みを測定することを特徴とするX線検査方法。

IPC (3件)：

G01B 15/02 , G01N 23/04 , H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 15/02 A , G01N 23/04 , H01L 21/66 J

Fターム (37件)：

2F067AA27 , 2F067CC14 , 2F067DD05 , 2F067GG07 , 2F067HH04 , 2F067KK06 , 2F067LL16 , 2F067RR24 , 2F067RR30 , 2F067RR40 , 2G001AA01 , 2G001AA10 , 2G001BA11 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA02 , 2G001DA09 , 2G001FA02 , 2G001FA06 , 2G001FA08 , 2G001GA04 , 2G001HA07 , 2G001HA13 , 2G001KA01 , 2G001KA11 , 2G001KA20 , 2G001LA02 , 2G001LA11 , 2G001PA11 , 4M106AA20 , 4M106BA20 , 4M106DB20 , 4M106DH03 , 4M106DH25 , 4M106DH34 , 4M106DJ18 , 4M106DJ20

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平1-301154
特開平1-277709
特開昭61-193010

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