特許

J-GLOBAL ID：200903071398240936

プラズマ化学蒸着装置

発明者： 村田 正義 ,  竹内 良昭
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-149230
公開番号（公開出願番号）：特開平11-340150
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】従来と比べ良好な膜厚分布が得られることを課題とする。【解決手段】反応容器21と、該反応容器21に反応ガスを導入する手段と、記反応ガスを前記反応容器内から排出する手段と、前記反応容器21内に配置され、基板29を支持するヒータ内蔵アノード電極23と、該アノード電極23に対向して設置されたカソード電極22と、このカソード電極22に周波数30MHzないし200MHzのグロー放電発生用電力を供給する電源24とを有し、該電源24から供給された電力によりグロー放電を発生し、前記被処理物表面上に非晶質薄膜あるいは微結晶薄膜あるいは多結晶薄膜を形成するプラズマ化学蒸着装置において、前記カソード電極22と前記電源24を結ぶ給電点を4個以上とし、かつ前記給電電力を均等に分配する電力分配器60を用いることを特徴とするプラズマ化学蒸着装置。

請求項（抜粋）：

反応容器と、この反応容器に反応ガスを導入する手段と、前記反応ガスを前記反応容器内から排出する手段と、前記反応容器内に配置され、被処理物を支持するヒータ内蔵アノード電極と、このアノード電極に対向して設置されたカソード電極と、このカソード電極に周波数30MHzないし200MHzのグロー放電発生用電力を供給する電源とを有し、この電源から供給された電力によりグロー放電を発生し、前記被処理物表面上に非晶質薄膜あるいは微結晶薄膜あるいは多結晶薄膜を形成するプラズマ化学蒸着装置において、前記カソード電極と前記電源を結ぶ給電点を4個以上とし、かつ前記給電電力を均等に分配する電力分配器を用いることを特徴とするプラズマ化学蒸着装置。

IPC (2件)：

H01L 21/205 ,  H01L 31/04

FI (2件)：

H01L 21/205 ,  H01L 31/04 V

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 表面処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-156968   出願人：アネルバ株式会社

審査官引用 (1件)

• 表面処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-156968   出願人：アネルバ株式会社