特許

J-GLOBAL ID：200903071399985480

複数ウエハリフト装置及び関連方法

発明者： ウィリアム ニクソン テイラー, ジュニア.
出願人/特許権者： アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-312819
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198418
出願日： 2001年10月10日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 第一の基板及び第二の基板をセルに対して搬送するための装置及び関連方法。【解決手段】 セル200には、単一基板218と相互作用するように配置されたペデスタル214が含まれる。セル2000の中でウエハを交換する場合、第一の基板216はペデスタル214から遠隔位置に移され、第二の基板218がセル200内へ且つペデスタル214上に挿入される。その後、第一の基板216はセルから取り除かれる。

請求項（抜粋）：

セル内のペデスタルと相互作用する装置であり、前記ペデスタルは単一基板を支えるように構成されている前記装置であって、前記ペデスタルから第一の基板を前記セル内の位置に前記ペデスタルに対して第二の基板が支えられるように移動可能とする第一の基板リフトを備えた、前記装置。

FI (2件)：

H01L 21/68 N ,  H01L 21/68 A

Fターム (27件)：

5F031CA01 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA30 ,  5F031GA44 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031HA12 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA33 ,  5F031HA42 ,  5F031HA52 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031LA16 ,  5F031MA04 ,  5F031MA25 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29 ,  5F031MA32 ,  5F031MA33 ,  5F031PA02

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 搬送システム及び処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-108577   出願人：東京エレクトロン株式会社