特許
J-GLOBAL ID：200903071445332518
カラ-フィルタアレイの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-139815
公開番号（公開出願番号）：特開2000-002807
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年01月07日
要約：
【要約】【課題】 カラーフィルタアレイに含まれるカラー粒子の直径が大きいため、スペクトル選択性がブロードになったりクリーンなパターン形成が困難になったりする。【解決手段】 画素化基板10上に平坦化層15を載置して平坦化した後、直径が50nmオーダである固体粒子着色剤を含む分散物17を画素化基板10の表面上へ滴下する。その後、分散物17から厚さが5μmオーダの薄い層19の形成が行われる。薄い層19は、マスクされ、且つ露光及び現像されて、所定のCFAパターン21aを形成する。従って、ナノパーティクルを有するカラーフィルタアレイを製造することが可能であり、スペクトル選択性が著しく改良されている。
請求項（抜粋）：
カラーフィルタの製造方法であって、画素化基板を設けるステップと、前記画素化基板の上に平坦化層を配置するステップと、質量測定された直径の中央値が50nm或いはそれ以下である固体粒子着色剤を含む液体を、前記平坦化層の上に滴下するステップと、前記液体から5μm或いはそれ以下のオーダの厚さの薄い層を形成するステップと、を含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
IPC (2件)：
G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
G02B 5/20 101
, G03F 7/004 505
