マイクロ集積型近接場光記録ヘッド及びこれを利用した光記録装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-258193
公開番号（公開出願番号）：特開2003-228856
出願日： 2002年09月03日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：

【要約】【課題】近接場光記録方式の高密度光情報記録及び再生用のマイクロ集積探針型ヘッド及びこれを利用した光記録装置を提供する。【解決手段】本発明はシリコン工程を利用した数十nmサイズの開口が形成された探針に光導波路とマイクロレンズ及びマイクロミラーを通じての光集束、そして反射された光の検出を通じての情報の記録及び再生が可能なヘッドの概念を導入する。このようなヘッドをディスク駆動構造により駆動することにより、現在のODD又はHDDのトラッキング技術が使用可能な形態で、記録サイズ50〜100nmの高密度及び高速の近接場光情報記録及び再生が可能である。

請求項（抜粋）：

光導波路、マイクロレンズ及びマイクロミラーを含むマイクロ光学部と、前記マイクロ光学部の下に設けられたカンチレバーと、前記カンチレバーの下面に100nm以下に突設された開口探針と、前記マイクロ光学部を介して入射する光が前記開口探針を通過しつつ分解能が100nm以下の近接場光を利用してメディア上に情報を記録して再生できるように、前記開口探針とメディアとの間の間隔を一定に維持する間隔制御構造とを含むマイクロ集積型近接場光記録ヘッド。

IPC (4件)：

G11B 7/09 , G11B 7/085 , G11B 7/135 , G11B 7/14

FI (7件)：

G11B 7/09 B , G11B 7/09 D , G11B 7/09 G , G11B 7/085 D , G11B 7/135 A , G11B 7/135 Z , G11B 7/14

Fターム (28件)：

5D117CC06 , 5D117GG01 , 5D117GG05 , 5D117JJ01 , 5D117KK25 , 5D118AA06 , 5D118AA11 , 5D118BA01 , 5D118BB05 , 5D118CA05 , 5D118CA11 , 5D118CD06 , 5D118CD15 , 5D118CF28 , 5D118CG09 , 5D118CG23 , 5D118CG36 , 5D118DC17 , 5D118EA12 , 5D118EA18 , 5D119AA22 , 5D119AA38 , 5D119BA01 , 5D119BB03 , 5D119CA03 , 5D119EC44 , 5D119JA57 , 5D119JA70

引用特許：

出願人引用 (3件)

米国特許第5,517,280号公報
米国特許第6,101,165号公報
米国特許第6,304,527号公報

審査官引用 (7件)

走査型近接場光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-228540 出願人：株式会社ニコン
情報記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-116560 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
近接場光ヘッド、近接場光ヘッドの加工方法および光記録再生装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-066489 出願人：株式会社日立製作所

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