特許
J-GLOBAL ID：200903027889070243
走査型近接場光学顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-228540
公開番号（公開出願番号）：特開平9-054101
出願日： 1995年08月14日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】 試料の形状情報と分離した試料の光学的情報のみを得る。SN比の低下や所望の波長の光による試料の測定を行うことができないという事態を防止する。【解決手段】 探針2と試料表面との間に働く原子間力に応じてカンチレバー1が撓む。その撓み量がカンチレバー1に形成されたPZT膜12により抵抗値に変換され、これに応じた信号が検出部22から出力される。制御部23及び駆動装置21によって、前記撓み量が一定になるようにカンチレバー1がZ方向に移動させられつつ、X,Y方向に探針2が試料表面を走査するようにカンチレバー1が移動させられる。光検出部30は、試料表面で反射したエバネッセント波を検出する。処理部31は、制御部23からの各制御信号及び光検出部30の検出信号を取り込み、試料20の光学的情報及び形状情報の両方を得る。
請求項（抜粋）：
先端部に探針を有するカンチレバーと、前記探針の先端からエバネッセント波が発生するように前記探針に光を照射する照射手段と、試料を透過し又は試料表面で反射したエバネッセント波を検出する光検出手段と、試料表面と略垂直な方向に前記探針を前記試料に対して相対的に移動させる第1の移動手段と、前記試料表面と略平行な面の方向に前記カンチレバーを前記試料に対して相対的に移動させる第2の移動手段と、前記試料表面と略平行な面の方向における前記カンチレバーの前記試料表面に対する相対位置に応じた、前記光検出手段からの検出信号に関する情報を得る手段と、を備えた走査型近接場光学顕微鏡において、圧電膜又は加えられた圧力に応じて抵抗値が変化する膜が前記カンチレバーに形成され、圧電膜が発生する電圧又は前記膜の抵抗値に応じた信号を出力する検出手段と、前記検出手段からの信号に基づいて前記カンチレバーの撓みが一定になるように前記第1の移動手段を制御しつつ、前記試料表面と略平行な面の方向に前記探針が試料表面を走査するように前記第2の移動手段を制御する制御手段と、を更に備えたことを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G02B 21/00
