基板位置ずれ検出装置及び基板位置ずれ検出方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸山幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-155534
公開番号（公開出願番号）：特開2002-350482
出願日： 2001年05月24日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】非接触の簡単な構造で確実かつ確実に基板の位置ズレを検出することができる基板の位置ずれ検出装置及び基板の位置ずれ検出方法を提供する。【解決手段】基板表面に配設された導電パターンに給電部3より基板20表面の導電パターン25に交流信号を供給して基板20を矢印A方向に移動させ、基板位置ずれセンサ1、2の交流信号検出信号の出力レベルがちょうど中間レベルとなるタイミングのずれと基板搬送速度とから基板の位置ずれ度合いを検出可能とする。

請求項（抜粋）：

表面に導電パターンの配設された基板の搬送方向にほぼ直交する方向の位置ずれを検出可能な基板位置ずれ検出装置であって、前記基板表面に配設された導電パターンの搬送方向上流端部の一定距離離反した少なくとも2点の到達予想位置に基板表面に配設された導電パターンと非接触で容量結合可能なパターン端部検出手段と、前記導電パターンの他の部位より前記搬送方向上流端部に交流信号を供給する信号供給手段と、それぞれの前記パターン端部検出手段による前記信号供給手段で供給された交流信号の検出タイミングのずれを検知して搬送されてくる検査基板の位置ずれを検出する位置ずれ検出手段とを備え、前記信号供給手段は前記検査基板が少なくとも前記搬送方向上流端部が前記パターン端部検出手段位置に到達する時点では前記交流信号を供給し、前記位置ずれ検出手段は検出信号の相違割合を前記検査基板の傾き割合とすることを特徴とする基板位置ずれ検出装置。

IPC (5件)：

G01R 31/02 , B65G 49/06 , G01B 7/00 , G02F 1/13 101 , H01L 21/68

FI (5件)：

G01R 31/02 , B65G 49/06 Z , G01B 7/00 C , G02F 1/13 101 , H01L 21/68 F

Fターム (31件)：

2F063AA02 , 2F063AA37 , 2F063BA27 , 2F063BC05 , 2F063BD17 , 2F063DA01 , 2F063DD03 , 2F063HA05 , 2G014AA01 , 2G014AB59 , 2G014AC12 , 2H088FA12 , 2H088FA16 , 2H088FA17 , 2H088FA30 , 2H088MA20 , 5F031CA04 , 5F031HA57 , 5F031HA58 , 5F031HA59 , 5F031JA09 , 5F031JA14 , 5F031JA17 , 5F031JA28 , 5F031JA36 , 5F031KA06 , 5F031KA07 , 5F031KA08 , 5F031KA12 , 5F031KA20 , 5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (5件)

基板位置補正装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-195853 出願人：株式会社ニコン
基板位置ずれ検出装置および基板位置ずれ検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-121829 出願人：日本電産リード株式会社
特開平3-027545

全件表示

前のページに戻る