超純水製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：若林忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-128618
公開番号（公開出願番号）：特開平7-328693
出願日： 1994年06月10日
公開日（公表日）： 1995年12月19日
要約：

【要約】【目的】超純水を使用することにより発生する排水中のTOCを低濃度として超純水製造装置の前段側に戻すことにより、水の利用率を高めた超純水製造装置を提供する。【構成】一次純水製造装置と、二次純水装置と、使用場所20で発生する排水のTOCを除去する回収装置とからなり、前記回収装置が生物処理装置26とオゾン供給装置28と紫外線照射装置30とを備える。

請求項（抜粋）：

原水を処理して一次純水を製造する一次純水製造装置と、一次純水を処理して超純水を製造する二次純水製造装置と、該二次純水製造装置で製造した超純水を使用場所で使用することによって発生した排水を処理して一次純水製造装置に返送する回収装置とからなる超純水製造装置において、前記回収装置が生物処理装置と、その後段に設けたオゾン供給装置及び紫外線照射装置とを有することを特徴とする超純水製造装置。

IPC (8件)：

C02F 9/00 503 , C02F 9/00 501 , C02F 9/00 502 , C02F 9/00 , C02F 1/28 , C02F 1/32 , C02F 1/44 , C02F 1/78

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平3-232598
特開昭62-087299
特開平2-152589

全件表示

前のページに戻る