特許
J-GLOBAL ID:200903071583783482

ボール振込み用マスク及びこれを用いたボール搭載装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-007908
公開番号(公開出願番号):特開2008-177264
出願日: 2007年01月17日
公開日(公表日): 2008年07月31日
要約:
【課題】本発明は、微小なボールを所定のパターンで被配列体に搭載するボール振込み用マスクにおいて、マスクの開口部に振込まれ被配列体に一旦所定パターンで搭載された導電性ボールが、マスクを被配列体から取外す時に、位置ずれすることを解消可能なボール振込み用マスク及びこれを用いたボール搭載装置を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、微小なボールを所定のパターンで被配列体に搭載するボール振込み用マスクにおいて、前記パターンに対応し前記ボールが挿通可能な複数の開口部を有し、少なくとも前記被配列体と当接する面には低粘着質部が形成されているボール振込み用マスクである。【選択図】図1
請求項(抜粋):
微小なボールを所定のパターンで被配列体に搭載するボール振込み用マスクにおいて、前記パターンに対応し前記ボールが挿通可能な複数の開口部を有し、少なくとも前記被配列体と当接する面には低粘着質部が形成されているボール振込み用マスク。
IPC (1件):
H01L 21/60
FI (1件):
H01L21/92 604H
引用特許:
出願人引用 (1件)

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