特許
J-GLOBAL ID:200903071616426435

感光性樹脂組成物およびそれを用いた感光性ドライフィルムレジスト

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 南條 博道
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-078201
公開番号(公開出願番号):特開2002-278065
出願日: 2001年03月19日
公開日(公表日): 2002年09月27日
要約:
【要約】【課題】 加工性および接着性に優れ、硬化後は充分な機械強度を有し、かつ耐熱性に優れる、感光性樹脂組成物、およびそれを用いた感光性ドライフィルムレジストを得ること;およびこのドライフィルムレジストがプリント基板上に積層され良好な物性を示す、感光性カバーレイフィルム積層基板を提供すること。【解決手段】 (A)COOH当量が200〜3000である可溶性ポリイミド、(B)多官能(メタ)アクリル系化合物および/またはその類似体でなる多官能(メタ)アクリル系化合物類、および(C)光反応開始剤を含有する感光性樹脂組成物。
請求項(抜粋):
(A)COOH当量が200〜3000である可溶性ポリイミド、(B)多官能(メタ)アクリル系化合物および/またはその類似体でなる多官能(メタ)アクリル系化合物類、および(C)光反応開始剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (8件):
G03F 7/037 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/48 ,  C08F283/04 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/075 521 ,  H05K 3/28
FI (8件):
G03F 7/037 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/48 ,  C08F283/04 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/004 512 ,  G03F 7/075 521 ,  H05K 3/28 D
Fターム (179件):
2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA14 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025CB25 ,  2H025CB33 ,  2H025CB43 ,  2H025CB51 ,  2H025CB52 ,  2H025DA19 ,  2H025FA17 ,  4J011AC04 ,  4J011PA97 ,  4J011PC02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA07 ,  4J011QA08 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA18 ,  4J011QA20 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QA25 ,  4J011QA27 ,  4J011QA32 ,  4J011QA34 ,  4J011QA37 ,  4J011QA39 ,  4J011QA40 ,  4J011QA42 ,  4J011QA43 ,  4J011QA45 ,  4J011QA46 ,  4J011QB16 ,  4J011RA10 ,  4J011RA12 ,  4J011SA22 ,  4J011SA23 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA28 ,  4J011SA32 ,  4J011SA33 ,  4J011SA34 ,  4J011SA42 ,  4J011SA43 ,  4J011SA45 ,  4J011SA48 ,  4J011SA61 ,  4J011SA62 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA75 ,  4J011SA78 ,  4J011SA83 ,  4J011SA84 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01 ,  4J026AB34 ,  4J026AB35 ,  4J026AC23 ,  4J026BA21 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA29 ,  4J026BA30 ,  4J026BA40 ,  4J026BA41 ,  4J026BA43 ,  4J026BA50 ,  4J026DB36 ,  4J026FA05 ,  4J026GA07 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PC016 ,  4J043PC066 ,  4J043PC076 ,  4J043PC116 ,  4J043PC136 ,  4J043PC146 ,  4J043PC166 ,  4J043QB31 ,  4J043RA35 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA43 ,  4J043SA44 ,  4J043SA47 ,  4J043SA52 ,  4J043SA54 ,  4J043SA62 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SA85 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043SB03 ,  4J043SB04 ,  4J043TA22 ,  4J043TA66 ,  4J043TA67 ,  4J043TA71 ,  4J043TA78 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA022 ,  4J043UA032 ,  4J043UA041 ,  4J043UA042 ,  4J043UA051 ,  4J043UA052 ,  4J043UA061 ,  4J043UA082 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA142 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA231 ,  4J043UA241 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UA622 ,  4J043UA672 ,  4J043UA711 ,  4J043UB011 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB071 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB132 ,  4J043UB152 ,  4J043UB172 ,  4J043UB221 ,  4J043UB222 ,  4J043UB281 ,  4J043UB282 ,  4J043UB301 ,  4J043UB302 ,  4J043UB382 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA032 ,  4J043VA041 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043XA13 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA31 ,  4J043ZA33 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB50 ,  5E314AA27 ,  5E314AA36 ,  5E314CC15 ,  5E314FF19 ,  5E314GG08
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平3-209478
  • 感光性樹脂組成物
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平4-190155   出願人:チッソ株式会社

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