特許
J-GLOBAL ID：200903071656107200
光学式センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-181765
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005028
出願日： 1995年07月18日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：
【要約】【課題】 構造が簡単であって小型軽量で、しかも広い温度範囲において高精度な絶対距離測定をすることができ、さらに、変位や圧力等の測定をも可能な光学式センサを得ること。【解決手段】 この発明の光学式センサは、駆動制御回路2と、レーザダイオード1からのレーザ光を分岐する光ファイバカプラ4と、分岐された一方のレーザ光を光ファイバ10へ導くととともに、光ファイバ10の端面10aに反射される参照光と、ダイアフラム12の周縁部13に反射され上記端面10aに入射した再反射光との干渉光を分岐する光ファイバカプラ7と、上記光ファイバカプラ7と同様にして、光ファイバ16を伝搬する干渉光を分岐する光ファイバカプラ8と、両干渉光を電気信号に変換する光電変換器22と、上記電気信号に基づいて距離L1、L2を求め、該距離L1、L2に基づいて圧力Pを求める演算処理回路23とを有している。
請求項（抜粋）：
被測定圧力等に応じて変位する第1の部分と、前記被測定圧力等に応じて変位しない第2の部分とを有し、レーザ光等を反射するターゲットと、レーザ光を発生するレーザ光発生手段と、前記レーザ光を分岐し、少なくとも分岐機能を有する光分岐合流器と、その内部を伝搬するレーザ光を前記ターゲットの第1の部分へ導き、該第1の部分へ向けて放射する第1の光ファイバと、その内部を伝搬するレーザ光を前記ターゲットの第2の部分へ導き、該第2の部分へ向けて放射する第2の光ファイバと、前記光分岐合流器により分岐された一方のレーザ光を前記第1の光ファイバへ導くとともに、前記第1の光ファイバの端部において反射された第1の反射レーザ光と、前記第1の光ファイバの端部から放射され、前記ターゲットの第1の部分で反射され、前記第1の光ファイバの端部へ入射された第2の反射レーザ光との干渉波を分岐し、少なくとも分岐機能を有する第1の光分岐合流器と、前記第1の光分岐合流器から分岐される前記干渉波から、前記第1の反射レーザ光と前記第2の反射レーザ光との干渉状態を検出して前記第1の光ファイバの端部と前記ターゲットの第1の部分との間の距離または変位を測定する第1の測定回路と、前記光分岐合流器により分岐された他方のレーザ光を前記第2の光ファイバへ導くとともに、前記第2の光ファイバの端部において反射された第1の反射レーザ光と、前記第2の光ファイバの端部から放射され、前記ターゲットの第2の部分で反射され、前記第2の光ファイバの端部へ入射された第2の反射レーザ光との干渉波を分岐し、少なくとも分岐機能を有する第2の光分岐合流器と、前記第2の光分岐合流器から分岐される前記干渉波から、前記第1の反射レーザ光と前記第2の反射レーザ光との干渉状態を検出して前記第2の光ファイバの端部と前記ターゲットの第2の部分との間の距離または変位を測定する第2の測定回路と、前記第1および第2の測定回路の測定結果の差を求める演算回路と、を具備することを特徴とする光学式センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (5件)
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真空スイッチ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-158487
出願人：山口日本電気株式会社
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特開平2-031113
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特公平4-037361
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