静電チャック

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-043870
公開番号（公開出願番号）：特開平9-237826
出願日： 1996年02月29日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】均一な吸着力でもって半導体ウエハを保持することができるとともに、静電吸着機能以外にプラズマ発生機能を備えたコンパクトな静電チャックを提供する。【解決手段】セラミック基体の表面に厚さ0.02mm以上でかつその最大長さが5cm以下である電極部を複数個備え、上記各電極部に厚さ0.01〜0.5mmの窒化アルミニウム膜を被覆して保持面を形成することにより静電チャックを構成する。

請求項（抜粋）：

セラミック基体の表面に厚さ0.02mm以上でかつその最大長さが5cm以下である電極部を複数個備え、上記各電極部に厚さ0.01〜0.5mmの窒化アルミニウム膜を被覆して保持面を具備したことを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15 , H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D , H02N 13/00 D

引用特許：

審査官引用 (13件)

静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-118417 出願人：京セラ株式会社
特開平1-274938
静電吸着装置およびその吸着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-348175 出願人：株式会社日立製作所

全件表示

前のページに戻る