特許

J-GLOBAL ID：200903071717390601

ノルボルナンラクトン構造を有する重合性化合物及び重合体

発明者： 三輪 拓也 ,  岡 信行 ,  金子 正雄
出願人/特許権者： 丸善石油化学株式会社
代理人 (1件)： 有賀 三幸 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-239968
公開番号（公開出願番号）：特開2001-064325
出願日： 1999年08月26日
公開日（公表日）： 2001年03月13日
要約：

【要約】【解決手段】 次の一般式(1)【化1】〔式中、R1 及びR2 のいずれか一方は、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基(tert-ブチル基を除く)を示し、他方は炭素数1〜4のアルキル基(tert-ブチル基を除く)を示し、R3 〜R9 は、1価の非重合性基を示し、Aは重合可能な炭素-炭素二重結合を有する基を示す。〕で表わされる重合性化合物、これ単独又はこれと共重合可能な化合物とのポリマー及び該ポリマーを含むレジスト組成物。【効果】 短波長の露光光源用のレジスト材料のベースポリマーとして有用である。

請求項（抜粋）：

次の一般式(1)【化1】〔式中、R1 及びR2 のいずれか一方は、炭素数1〜4のアルキル基(tert-ブチル基を除く)を示し、他方は水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基(tert-ブチル基を除く)を示し、R3 〜R9 は、それぞれ独立して水素原子、シリル基、シアノ基、水酸基、ハロゲン原子又は1価の非重合性有機置換基を示し、Aは重合可能な炭素-炭素二重結合を有する基を示す。〕で表わされる重合性化合物。

IPC (4件)：

C08F 20/28 ,  C07D307/77 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/14

FI (4件)：

C08F 20/28 ,  C07D307/77 ,  C08K 5/00 ,  C08L 33/14

Fターム (22件)：

4C037EA07 ,  4J002BG071 ,  4J002EQ036 ,  4J002EU186 ,  4J002EV246 ,  4J002FD206 ,  4J002GP00 ,  4J100AB02Q ,  4J100AB07Q ,  4J100AE04Q ,  4J100AE29Q ,  4J100AJ02Q ,  4J100AJ03Q ,  4J100AK32Q ,  4J100AL08P ,  4J100AR11Q ,  4J100BC08P ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100DA36 ,  4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 新規なラクトン含有化合物、高分子化合物、レジスト材料及びパタ-ン形成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-255167   出願人：信越化学工業株式会社