脆性材料微粒子成膜体の低温成形法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：川井治男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-256580
公開番号（公開出願番号）：特開2003-073855
出願日： 2001年08月27日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
要約：

【要約】【課題】高温の基板加熱と熱処理工程を必要とせず、室温で高密度、高緻密性や高密着性をもつ脆性材料微粒子成膜体が形成できる脆性材料微粒子成膜体成形法を提供する【解決手段】減圧チャンバ内で脆性材料微粒子を搬送ガスと混合してエアロゾル化してノズル4を通して加速して基板3上に吹き付けて被膜形成を行うエアロゾル式ガスデポジション法において、脆性材料微粒子は平均粒子径が50nm以上で、形状が非球形の不定形形状である

請求項（抜粋）：

減圧チャンバ内で脆性材料微粒子を搬送ガスと混合してエアロゾル化してノズルを通して加速して基板上に吹き付けて膜形成を行うエアロゾル式ガスデポジション法において、前記脆性材料微粒子は平均粒子径が50nm以上で、形状が非球形の不定形形状であることを特徴とする脆性材料微粒子低温成形法。

IPC (5件)：

C23C 24/04 , C03C 17/22 , C03C 17/23 , H01L 41/187 , H01L 41/24

FI (5件)：

C23C 24/04 , C03C 17/22 Z , C03C 17/23 , H01L 41/22 A , H01L 41/18 101 D

Fターム (21件)：

4G059AA01 , 4G059AA08 , 4G059AC16 , 4G059AC18 , 4G059AC19 , 4G059AC20 , 4G059EA01 , 4G059EA12 , 4K044AA02 , 4K044AA06 , 4K044AA12 , 4K044AA13 , 4K044AB05 , 4K044BA12 , 4K044BA13 , 4K044BB01 , 4K044BC01 , 4K044BC04 , 4K044BC14 , 4K044CA23 , 4K044CA53

引用特許：

審査官引用 (4件)

複合構造物の作製方法および作製装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-310585 出願人：経済産業省産業技術総合研究所長, 東陶機器株式会社
パウダービームコーティング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-130119 出願人：ソニー株式会社
粉体皮膜形成方法及び皮膜形成媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-235684 出願人：インターメタリックス株式会社

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