感光性樹脂組成物の硬化方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-307948
公開番号（公開出願番号）：特開平9-146273
出願日： 1995年11月27日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】硬化後の膜の着色を著しく低減する硬化方法を提供するものである。【解決手段】ポリベンゾオキサゾール前駆体とジアゾキノンからなる感光性樹脂を露光、現像してパターンを作製した後、更に全面露光して硬化させる感光性樹脂組成物の硬化方法。

請求項（抜粋）：

ポリベンゾオキサゾール前駆体とジアゾキノンからなる感光性樹脂組成物を露光、現像しパターンを作成した後、更に全面露光し硬化することを特徴とする感光性樹脂組成物の硬化方法。

IPC (4件)：

G03F 7/037 , C08G 73/22 NTR , G03F 7/022 , H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/037 , C08G 73/22 NTR , G03F 7/022 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

出願人引用 (9件)

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審査官引用 (15件)

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