固体撮像装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-109354
公開番号（公開出願番号）：特開2008-270423
出願日： 2007年04月18日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：

【課題】集光特性や斜め光の入射特性と悪化させることなく、周辺回路の多層配線をもつ固体撮像装置を実現する。【解決手段】半導体基板上に、マトリクス状に配列された複数の画素セルから構成される撮像領域と、画素セルを駆動し信号処理を行う撮像領域の周辺に配置される周辺回路と、から構成される固体撮像装置であって、撮像領域の配線層数は周辺回路の配線層数よりも少なく、撮像領域の画素セルには、撮像領域の最上層配線と配線周辺回路の最上層配線に相当する位置の間に層内レンズが配置され、かつ周辺回路の最上層配線に相当する位置よりも上方にオンチップカラーフィルタとオンチップレンズが配置されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体基板上に、光電変換素子とトランジスタを含むマトリクス状に配列された複数の画素セルから構成される撮像領域と、前記画素セルを駆動し信号処理を行う前記撮像領域の周辺に配置される周辺回路と、から構成される固体撮像装置において、前記撮像領域の配線層数は前記周辺回路の配線層数よりも少なく、前記撮像領域の配線層数をn層、前記周辺回路の配線層数をm層とするとn<mの関係に有り、前記撮像領域の前記画素セルにおいてn層目配線に相当する位置から前記周辺回路のm層目配線に相当する位置の間に、すくなくとも1つの第1の光学構造部材が配置され、かつ前記撮像領域の前記画素セルにおいてn層目配線に相当する位置から前記周辺回路のm層目配線に相当する位置の間にはm層目配線位置と概ね同等の高さに平坦化された層間膜が配置されていることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , H01L 27/146 , H04N 5/335

FI (4件)：

H01L27/14 D , H01L27/14 A , H04N5/335 U , H04N5/335 E

Fターム (14件)：

4M118BA14 , 4M118CA03 , 4M118CA32 , 4M118GA09 , 4M118GC07 , 4M118GD04 , 4M118GD07 , 5C024CX03 , 5C024CY47 , 5C024EX43 , 5C024EX52 , 5C024GX03 , 5C024GY31 , 5C024HX40

引用特許：

出願人引用 (1件)

固体撮像素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-231048 出願人：ソニー株式会社

前のページに戻る