特許
J-GLOBAL ID：200903071784937844
光学式膜厚モニタ機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-309093
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124526
出願日： 1999年10月29日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：
【要約】【課題】 簡易な構成で、真空チャンバを開けることなく、未成膜のモニタ用基板面を適宜供給可能とした直視型の光学式膜厚モニタ機構を提供する。【解決手段】 サンプル基板21を所定の半径位置に保持して回転するサンプルホルダ22に、モニタ用基板24を保持したモニタ用基板ホルダ23を搭載する。サンプルホルダ22のモニタ用基板ホルダ23搭載部に窓28を形成する。回転シャフト32を移動させてモニタ用基板ホルダ23を回動(自転)させることにより、窓28を介してモニタ用基板24の一部が成膜面として順次露出し、露出した成膜面に成膜された膜厚を光学的に測定する。
請求項（抜粋）：
成膜用真空チャンバに設けられた光学式膜厚モニタ機構であって、薄膜を成膜すべきサンプル基板を所定の回転半径位置に保持して回転するサンプルホルダに搭載されたモニタ用基板ホルダと、そのモニタ用基板ホルダに保持されたモニタ用基板と、上記サンプルホルダに対して上記モニタ用基板ホルダを回動させる回動手段とを備え、上記サンプル基板とほぼ同じ回転半径位置に位置して、上記サンプルホルダの上記モニタ用基板ホルダ搭載部に窓が形成され、上記回動手段により上記モニタ用基板ホルダを回動させることにより、上記窓を介して上記モニタ用基板の一部が成膜面として順次露出し、その露出した成膜面に成膜された膜厚を光学的に測定する構造とされていることを特徴とする光学式膜厚モニタ機構。
IPC (3件)：
G01B 11/06
, C23C 14/34
, G02B 5/20
G01B 11/06 Z
, C23C 14/34 U
, G02B 5/20
2F065AA30
, 2F065BB03
, 2F065BB16
, 2F065BB22
, 2F065CC21
, 2F065CC31
, 2F065DD11
, 2F065HH12
, 2F065HH15
, 2F065JJ08
, 2F065LL12
, 2F065MM04
, 2F065PP13
, 2F065QQ01
, 2H048AA09
, 2H048AA12
, 2H048AA18
, 4K029EA01
