特許
J-GLOBAL ID：200903071809254585

ラジアントチューブバーナーを利用した基板用連続加熱炉

発明者：
野入 一二夫

野入 一二夫 について


出願人/特許権者：
日本碍子株式会社

日本碍子株式会社 について


代理人 (1件)： 渡邉 一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-278816
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153564
出願日： 2000年09月13日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：
【要約】【課題】 基板の乾燥、焼成に要求される温度管理精度と炉内環境のクリーン度を確保しつつ、エネルギーコストを下げ、大量生産をより容易とすることが可能な連続加熱炉を提供する。【解決手段】 上部と下部とに加熱手段を有する複数の加熱室と、隣接する加熱室へ被加熱体を搬送するための搬送手段とを備え、基板温度が所定の温度範囲に入るよう各加熱室を個別に温度制御することにより、所望の温度曲線に従って、予熱、昇温、均熱保持及び冷却を行えるように構成された基板用の連続加熱炉である。当該加熱炉30においては、各加熱室1〜18の上部と下部の加熱手段の少なくとも一方にラジアントチューブバーナー20を使用し、残りの加熱手段に電気ヒーター21を使用する。
請求項（抜粋）：
上部と下部とに加熱手段を有する複数の加熱室と、隣接する加熱室へ被加熱体を搬送するための搬送手段とを備え、基板温度が所定の温度範囲に入るよう各加熱室を個別に温度制御することにより、所望の温度曲線に従って、予熱、昇温、均熱保持及び冷却を行えるように構成された基板用の連続加熱炉であって、予熱と昇温とを行う予熱・昇温域の加熱室には、上部と下部の加熱手段の少なくとも一方にラジアントチューブバーナーを使用し、同加熱室の残りの加熱手段に電気ヒーターを使用したことを特徴とするラジアントチューブバーナーを利用した基板用連続加熱炉。
IPC (5件)：
F27B 9/02 ,  F23C 3/00 301 ,  F27B 9/06 ,  F27B 9/12 ,  F27B 9/36
FI (5件)：
F27B 9/02 ,  F23C 3/00 301 ,  F27B 9/06 Z ,  F27B 9/12 ,  F27B 9/36
引用特許：
審査官引用 (7件)
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