特許

J-GLOBAL ID：200903071845631069

クリーンルーム構成材料から発生する分子状汚染物質の測定装置

発明者： 神戸 正純 ,  田辺 新一 ,  有賀 隆男
出願人/特許権者： 新日本空調株式会社 ,  田辺 新一 ,  有限会社アドテック
代理人 (1件)： 永井 義久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-159547
公開番号（公開出願番号）：特開2003-344239
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】実際のクリーンルーム環境に近似した状態で測定を行うことができ、しかも測定精度に優れた、クリーンルーム構成材料から発生する分子状汚染物質の測定装置とする。【解決手段】クリーンルーム構成材料Sが設置される測定容器2と、この測定容器2内にキャリアガスGを流通させる流通手段3と、測定容器2内を通り抜けたキャリアガスG中の分子状汚染物質の量を分析する分析手段20と、を備える。加えて、測定容器2内に流通させるキャリアガスGの一部を純水W中でバブリングさせた後、残部のキャリアガスGと混合させることにより、測定容器2内に流通させるキャリアガスGを調湿する調湿手段10を備える。

請求項（抜粋）：

クリーンルーム構成材料が設置される測定容器と、この測定容器内にキャリアガスを流通させる流通手段と、前記測定容器内を通り抜けたキャリアガス中の分子状汚染物質の量を分析する分析手段と、を有する分子状汚染物質の測定装置であって、前記測定容器内に流通させるキャリアガスの一部を純水中でバブリングさせた後、残部のキャリアガスと混合させることにより、前記測定容器内に流通させるキャリアガスを調湿する調湿手段が備えられたことを特徴とするクリーンルーム構成材料から発生する分子状汚染物質の測定装置。

IPC (3件)：

G01N 1/22 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/36

FI (3件)：

G01N 1/22 S ,  G01N 1/28 Y ,  G01N 1/28 L

Fターム (19件)：

2G052AA03 ,  2G052AA04 ,  2G052AA05 ,  2G052AB22 ,  2G052AC13 ,  2G052AD02 ,  2G052AD22 ,  2G052AD42 ,  2G052BA05 ,  2G052CA04 ,  2G052CA11 ,  2G052FB02 ,  2G052FC02 ,  2G052FC13 ,  2G052GA24 ,  2G052GA27 ,  2G052HC23 ,  2G052HC29 ,  2G052JA09

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-065854   出願人：株式会社東芝