プロセス管理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 中村友之 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-115604
公開番号（公開出願番号）：特開2005-301582
出願日： 2004年04月09日
公開日（公表日）： 2005年10月27日
要約：

【課題】限られたセンサ信号から正常運転状態と故障状態とを効率良く判別推定でき、故障発生時にはその要因を推定して、システムの性能検証や故障検知、故障予知、故障診断を精度良く実行するとともに、エネルギー消費を削減し、保守費を低減する。【解決手段】統計解析手段3によって、プロセス変数結合重みパラメータ“a11,a12,...,amp”を使用して、プロセス実績データを主成分分析し、変数の数を低減した主成分スコア“Zm”を作成するとともに、予め学習した人工知能手段9によって、主成分スコア“Zm”を解析して、異常の有無を判定し、故障要因を推定する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プロセスを計測して得られる多変数を解析パラメータを用いて統計解析し、変数数を削減して統計解析データを生成する統計解析手段と、学習処理で得られた判定パラメータを用いて、前記統計解析手段から出力される統計解析データを解析し、異常の有無を判定し、故障要因を推定する人工知能手段と、を備えたことを特徴とするプロセス管理装置。

IPC (1件)：

G05B23/02

FI (2件)：

G05B23/02 302Y , G05B23/02 302V

Fターム (5件)：

5H223AA20 , 5H223BB02 , 5H223DD07 , 5H223EE30 , 5H223FF05

引用特許：

出願人引用 (1件)

故障診断支援装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-002093 出願人：株式会社ニコン

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