塵埃粒子発生位置特定装置および方法ならびにクリーンルーム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-005486
公開番号（公開出願番号）：特開平7-209146
出願日： 1994年01月24日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：

【要約】【目的】クリーンルーム等の清浄空間に係り,室内における塵埃粒子分布の監視に係る設備コストの低減および室内における作業効率の向上を目的とする。【構成】空気排出用の貫通穴(10)が設けられた領域(80)が所定間隔で配置されている床板(8) の下に, これら領域(80)に対応する吸気用の開口(11)が設けられた複数のサンプリングチューブ(9) をXY両方向に延伸するように設置する。これらサンプリングチューブ(9) を順次選択し, それぞれの前記貫通穴(10)から排出される空気を前記開口(11)を通じて吸引し,その中の塵埃粒子をレーザーパーティクルカウンタ(5) によって計数する。サンプリングチューブ(9) の選択順序と塵埃粒子測定値とをコンピータで対応付けを行って,室内における塵埃粒子発生位置を特定する。

請求項（抜粋）：

互いに平行に対向する第1の隔壁面および第2の隔壁面によって区画され,該第1の隔壁面から第2の隔壁面に向かって清浄な空気が送入され, 該第2の隔壁面上において互いに交差する二つの方向のそれぞれに沿って行および列をなすように所定の間隔を以て画定された複数の領域の各々に少なくとも一つずつ設けられた貫通穴を通じて前記空気が排出される空間内における塵埃粒子の発生位置を該第2の隔壁面上の位置として特定するための装置であって,前記第2の隔壁面を介して前記空間外に前記第2の隔壁面に平行に設置され且つ各々が該行または列の一つに対応づけられており且つ対応する該行または列における該領域にそれぞれ対応する複数の開口が各々に設けられている複数のサンプリングチューブと,前記貫通穴から排出された空気をそれぞれの該貫通穴に対応する該開口から該開口が設けられている各々の該サンプリングチューブを通じて吸引するとともに該吸引された空気中の粒子を計数するパーティクルカウンタと,該複数のサンプリングチューブを該パーティクルカンウタに順次選択的に接続しこれによって該パーティクルカウンタが前記排出空気を各々の該サンプリングチューブ毎に分離して吸引可能にするための切り換え機構とを備えたことを特徴とする塵埃粒子発生位置特定装置。

IPC (4件)：

G01N 1/02 , F24C 7/06 , G01N 15/10 , G01N 15/14

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開昭61-223630
特開昭54-020789
特開平3-172732

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審査官引用 (3件)

特開昭61-223630
特開昭54-020789
特開平3-172732

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