特許
J-GLOBAL ID:200903071904652610
固体樹脂の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
久保山 隆 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-293408
公開番号(公開出願番号):特開2002-201210
出願日: 2001年09月26日
公開日(公表日): 2002年07月19日
要約:
【要約】【課題】 析出した樹脂と有機溶媒(A)と溶媒(B)からなるスラリーを濾過等による手段で単離するときの操作が容易で、かつ、電子回路パターンをシリコンウエハー上に形成する際に用いられるフォトレジスト組成物用の高品質の固体樹脂を製造する方法を提供すること。【解決手段】 単数又は複数の原料化合物を、有機溶媒(A)の存在下で反応させて樹脂含有溶液を得、該樹脂含有溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒(B)中に添加して樹脂を析出させ、次いで、析出した樹脂と有機溶媒(A)と上記有機溶媒とは異なる溶媒(B)からなるスラリーを加熱することを特徴とする固体樹脂の製造方法。
請求項(抜粋):
単数又は複数の原料化合物を有機溶媒(A)の存在下で反応させて樹脂含有溶液を得、該樹脂含有溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒(B)中に添加して樹脂を析出させ、次いで、析出した樹脂と有機溶媒(A)と溶媒(B)からなるスラリーを加熱することを特徴とする固体樹脂の製造方法。
IPC (3件):
C08F 6/06
, C08F 2/06
, C08F 20/10
FI (3件):
C08F 6/06
, C08F 2/06
, C08F 20/10
Fターム (11件):
4J011HA03
, 4J011HB05
, 4J100AL02P
, 4J100CA04
, 4J100FA19
, 4J100FA30
, 4J100GC07
, 4J100GC17
, 4J100GC29
, 4J100GC35
, 4J100JA38
引用特許:
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