特許
J-GLOBAL ID:200903071912821420
固体撮像装置とその製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
船橋 國則
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-116196
公開番号(公開出願番号):特開平9-027608
出願日: 1996年05月10日
公開日(公表日): 1997年01月28日
要約:
【要約】【課題】 中空パッケージ構造を採ることなく、モールドパッケージ構造を採用することのできるマイクロレンズ構造を有した、固体撮像装置とその製造方法の提供が望まれている。【解決手段】 光電変換を行う受光部3と、受光部3の受光面3aを覆うことなく設けられた遮光膜8とを備えた固体撮像装置11である。受光面3aを覆ってこれと反対の側に凹となる凹レンズ12aを有した第一の透明材料からなる透明レンズ層12が設けられている。透明レンズ層12上には、第一の透明材料より高い屈折率を有する第二の透明材料からなり、少なくともその最上面が平坦化されてなる透明平坦化層13が透明レンズ層12に接して設けられている。また、この固体撮像装置11の製造方法。
請求項(抜粋):
光電変換を行う受光部と、該受光部の受光面を覆うことなく設けられた遮光膜とを備えた固体撮像装置において、前記受光部の受光面を覆って、該受光面と反対の側に向かって凹となる凹レンズを有した第一の透明材料からなる透明レンズ層を設け、該透明レンズ層上に、前記第一の透明材料より高い屈折率を有する第二の透明材料からなり、少なくともその最上面が平坦化されてなる透明平坦化層を前記透明レンズ層に接して設けたことを特徴とする固体撮像装置。
IPC (4件):
H01L 27/14
, G02B 3/00
, H01L 27/148
, H04N 5/335
FI (4件):
H01L 27/14 D
, G02B 3/00 A
, H04N 5/335 V
, H01L 27/14 B
引用特許:
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