特許

J-GLOBAL ID：200903071924675764

テラヘルツパルス光照射装置及びこれを用いたイメージ化装置

発明者： 宇佐見 護
出願人/特許権者： 株式会社栃木ニコン ,  株式会社ニコン
代理人 (1件)： 四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-098704
公開番号（公開出願番号）：特開2003-295104
出願日： 2002年04月01日
公開日（公表日）： 2003年10月15日
要約：

【要約】【課題】 対象物体の各点に到達するテラヘルツパルス光のパルス幅を短くし、テラヘルツパルス光の高周波成分による観察や測定等を可能にする。【解決手段】 大口径光伝導アンテナ1の領域Rから、テラヘルツパルス光が発生する。領域Rは、発生するテラヘルツパルス光の波長に比べて十分に大きい。領域Rの各点から発生したテラヘルツパルス光のうち軸外し放物面鏡11の光軸Oと平行に進行する成分のみが、放物面鏡11で反射した後に焦点Fの位置に集光される。軸外し放物面鏡11,12は焦点Fを共有するため、焦点位置Fを通過した光は、放物面鏡12で反射した後に平行光に戻されてから、サンプル100を照射する。その結果、サンプル100の各点について、当該点に到達するテラヘルツパルス光が、領域Rの一点のみから発したテラヘルツパルス光のみとなる。

請求項（抜粋）：

発生するテラヘルツパルス光の波長に比べて十分に大きいテラヘルツ光発生領域を持つテラヘルツ光発生部と、前記テラヘルツ光発生部から発生したテラヘルツパルス光を、対象物体の所定領域に一括照射する照射光学系と、を備え、前記照射光学系は、前記対象物体の前記所定領域の各点に到達するテラヘルツパルス光が、前記テラヘルツ光発生領域のいずれかの実質的に一点のみから発して所定の光路を経るように、前記テラヘルツ光発生部から発生したテラヘルツパルス光を前記対象物体の前記所定領域に照射することを特徴とするテラヘルツパルス光照射装置。

IPC (2件)：

G02B 27/00 ,  H01L 31/0264

FI (2件)：

G02B 27/00 S ,  H01L 31/08 L

Fターム (4件)：

5F088AA11 ,  5F088AB07 ,  5F088BB10 ,  5F088LA01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光学装置のビームエキスパンダ光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-105266   出願人：株式会社小松製作所