特許
J-GLOBAL ID：200903071929122887

超音波接合装置

発明者：
神谷 浩太郎

神谷 浩太郎 について


出願人/特許権者：
ESB株式会社

ESB株式会社 について


代理人 (1件)： 越川 隆夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-199696
公開番号（公開出願番号）：特開2006-315002
出願日： 2006年07月21日
公開日（公表日）： 2006年11月24日
要約：
【課題】超音波振動を利用した半導体部品等の超音波接合装置において、超音波ホーンを含む振動体の重量を低減し、位置決め精度を向上させると共に、位置決め制御を容易にして接合作業時間を抑制した超音波接合装置を提供する。【解決手段】超音波の周波数の1波長分の長さに予め設定され、その両端部および長手方向中央部に最大振動振幅点を有する超音波ホーン12と、この超音波ホーン12の長手方向中央の最大振動振幅点に設けられた接合作用部12bと、超音波ホーン12を横振動させる超音波振動子32と、超音波ホーン12を着脱自在に固定した支持部材26と、超音波ホーン12を加圧する加圧手段とを備え、超音波ホーン12の2つのノーダルポイント位置には挿入孔31が形成され、該挿通孔31の中央の当該超音波ホーン12の断面中央に固定ボルト30を締結して超音波ホーン12を支持させたものである。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
横振動方式の超音波ホーンを利用して電子部品に水平方向の超音波振動を付与することで溶融接合し実装する超音波接合装置において、 超音波の周波数の1波長分の長さに予め設定され、その両端部および長手方向中央部に最大振動振幅点を有する超音波ホーンと、この超音波ホーンの長手方向中央の最大振動振幅点に設けられた接合作用部と、前記超音波ホーンの一端部に同軸上に連結され、当該超音波ホーンを横振動させる超音波振動子と、前記超音波ホーンの2つのノーダルポイントを固定ボルトを介して着脱自在に固定した支持部材と、前記超音波ホーンを加圧する加圧手段と、を備えるとともに、前記超音波ホーンの2つのノーダルポイント位置には上下方向に延びる挿入孔が形成され、該挿入孔の中央であって当該超音波ホーンの断面中央に前記固定ボルトを締結して前記超音波ホーンを支持させたことを特徴とする超音波接合装置。
IPC (2件)：
B06B 1/02 ,  B23K 20/12
FI (2件)：
B06B1/02 K ,  B23K20/12
Fターム (12件)：
4E067BF00 ,  4E067CA02 ,  4E067EA04 ,  4E067EB00 ,  5D107AA11 ,  5D107AA13 ,  5D107AA14 ,  5D107CC20 ,  5D107DD03 ,  5D107DE02 ,  5D107FF03 ,  5D107FF06
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 特許第2583398号公報(第3、4頁、第2、3図)
  • 超音波振動接合用超音波ホーン
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-218854   出願人：株式会社アルテクス
  • 超音波ミリング装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-013738   出願人：村川正夫
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審査官引用 (3件)
引用文献：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (1件)

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