特許

J-GLOBAL ID：200903071933936040

基板現像装置

発明者： 桐栄 敬二 ,  福地 毅 ,  井関 出
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-181052
公開番号（公開出願番号）：特開平7-036195
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 短い現像時間で現像液の塗布厚の均一性を向上する。【構成】 基板現像装置は、フォトレジストが塗布されかつ所定のパターンに露光された基板3を現像液により現像する装置であって、基板保持部4と現像液供給部5とを備えている。基板保持部4は基板3を横方向に保持する。現像液供給部5は、基板保持部4に対して水平移動可能であり、基板3の上面に沿って延び、移動方向に対して斜め後方に現像液を流出するノズル部7を有している。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂が塗布されかつ所定のパターンに露光された基板を現像液により現像する基板現像装置であって、前記基板を水平方向にして保持し得る基板保持部と、前記基板保持部に対し相対移動可能であり、前記基板の上面に沿って延び、移動方向に対して斜め後方に前記現像液を流出するノズルを有する現像液供給部と、を備えた基板現像装置。

IPC (3件)：

G03F 7/30 502 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-192955
  
• 基板現像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-181050   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• 基板現像装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-181051   出願人：大日本スクリーン製造株式会社