特許

J-GLOBAL ID：200903071934589696

デジタルマイクロミラーデバイス用の支柱構造およびその製造方法

発明者： グレゴリー シー.スミス ,  ロバート エム.ボイセル
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-285388
公開番号（公開出願番号）：特開平8-227042
出願日： 1995年11月01日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【課題】 機械的強度に優れたマイクロメカニカルデバイス用の支持構造を得る。【解決手段】 マイクロメカニカルデバイス、特にデジタルマイクロミラーデバイスと一緒に使用するための支持ピラー408は、基板400によって支えられ、金属層406によって覆われたピラー材料422を含んでいる。支持ピラー408は、基板400上へピラー材料を堆積させ、前記ピラー材料をパターニングして支持ピラー408を定義し、そして前記支持ピラー408を覆って前記支持ピラーを取り囲むように金属層406を堆積させることにより作製される。ピラー408を覆ってスペーサー層410を設けることで、ピラーの上端とレベルの揃った平坦な表面が得られる。スペーサー層410を設けた後、スペーサー層410はピラーの上部を露出させるためにエッチされる。

請求項（抜粋）：

金属化された支持ピラーを作製する方法であって、基板上へピラー材料を堆積させること、前記ピラー材料をパターニングして支持ピラーを定義すること、および前記支持ピラーを覆って金属層を堆積させ、そこにおいて前記支持ピラーが前記金属層によって取り囲まれて金属化された支持ピラーが形成されるようにすること、の工程を含む方法。

IPC (3件)：

G02B 26/08 ,  H04N 5/74 ,  H04N 9/31

FI (3件)：

G02B 26/08 E ,  H04N 5/74 A ,  H04N 9/31 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 空間光変調器の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-187099   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• 空間的光変調装置とその製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-158722   出願人：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド