耐摩耗性に優れた硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材

発明者： , , , , , , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小谷悦司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-305936
公開番号（公開出願番号）：特開2000-129424
出願日： 1998年10月27日
公開日（公表日）： 2000年05月09日
要約：

【要約】【課題】耐摩耗性及び密着性に優れた硬質皮膜と、上記硬質皮膜が形成された硬質皮膜被覆部材を提供する。【解決手段】基材表面に形成される硬質皮膜において、基材側に形成される第1層の組成は、Alx Tiy Vz [但し、0.20≦x≦0.75,0.20≦y≦0.75,0.1≦z≦0.5,x+y+z=1]とし、表面側に積層された第2層の組成は(Alp Tiq Vr )(Nu C1-u )[但し、p,q,rは0.20≦p≦0.75,0.20≦q≦0.75,0.1≦r≦0.5,p+q+r=1を満足し、0.6≦u≦1]とする。前記第1層の厚さは、5〜500nmであることが望ましく、また前記第1層及び第2層の合計の厚さは、0.8〜20μmとすることが望ましい。上記硬質皮膜を基材表面に形成すれば耐摩耗性に優れた硬質皮膜被覆部材または硬質皮膜被覆工具を得ることができる。

請求項（抜粋）：

基材表面に形成される硬質皮膜であって、基材側に形成される第1層の組成は、Alx Tiy Vz但し、0.20≦x≦0.75,0.20≦y≦0.75,0.1≦z≦0.5,x+y+z=1であり、表面側に積層された第2層の組成は(Alp Tiq Vr )(Nu C1-u )但し、p,q,rは0.20≦p≦0.75,0.20≦q≦0.75,0.1≦r≦0.5,p+q+r=1を満足し、0.6≦u≦1であることを特徴とする耐摩耗性に優れた硬質皮膜。

IPC (4件)：

C23C 14/06 , C23C 16/36 , C23C 28/00 , B23B 27/14

FI (4件)：

C23C 14/06 N , C23C 16/36 , C23C 28/00 B , B23B 27/14 A

Fターム (41件)：

3C046FF09 , 3C046FF10 , 3C046FF11 , 3C046FF16 , 3C046FF25 , 4K029AA02 , 4K029AA04 , 4K029BA21 , 4K029BA54 , 4K029BA58 , 4K029BC02 , 4K029BD03 , 4K029BD04 , 4K029BD05 , 4K029CA03 , 4K029CA04 , 4K029DD06 , 4K029EA01 , 4K030BA02 , 4K030BA18 , 4K030BA19 , 4K030BA38 , 4K030BA41 , 4K030CA02 , 4K030CA03 , 4K030CA05 , 4K030JA01 , 4K030LA01 , 4K030LA21 , 4K030LA22 , 4K030LA23 , 4K044AA02 , 4K044AA09 , 4K044AA13 , 4K044BA02 , 4K044BA10 , 4K044BA18 , 4K044BB03 , 4K044BC01 , 4K044BC06 , 4K044CA13

引用特許：

審査官引用 (6件)

被覆切削工具およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-324067 出願人：住友電気工業株式会社, 住友金属工業株式会社
密着性に優れた硬質皮膜被覆工具および硬質皮膜被覆部材
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-100152 出願人：株式会社神戸製鋼所
特開昭62-290861

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